发明名称 |
电子光学镜筒及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供适于小型化的电子光学镜筒及其制造方法。筒体(1)包含内筒(11)及外筒(12)。筒体整体上以具有高电阻导电性的陶瓷构成。在内筒的内表面(111),利用电镀、蒸镀等手段获得静电透镜(21、22、23、24)。用公共配线连接构成透镜的电极或电极片(211~213、221、231、232、241~243)中的具有共同电位的电极或电极片。这样,可使共同电位的电极或电极片与外部配线进行集中连接。 |
申请公布号 |
CN100428397C |
申请公布日期 |
2008.10.22 |
申请号 |
CN03812860.8 |
申请日期 |
2003.06.10 |
申请人 |
株式会社东京大学TLO |
发明人 |
奥村胜弥;三好元介 |
分类号 |
H01J37/16(2006.01);H01J37/12(2006.01);H01J37/147(2006.01);H01J37/153(2006.01) |
主分类号 |
H01J37/16(2006.01) |
代理机构 |
上海市华诚律师事务所 |
代理人 |
徐申民 |
主权项 |
1.一种电子光学镜筒,其特征在于,具有筒体、及配置于该筒体内表面的静电透镜,所述筒体的内表面呈电阻率范围为108~1010Ω·cm的高电阻导电性;所述筒体具有内筒及外筒,所述内筒配置于所述外筒的内部;所述静电透镜具备在所述筒体的内侧产生电场用的电极,在所述电极连接着将电压施加于该电极用的配线,所述配线配置在所述内筒与外筒之间。 |
地址 |
日本东京都 |