发明名称 电子光学镜筒及其制造方法
摘要 本发明提供适于小型化的电子光学镜筒及其制造方法。筒体(1)包含内筒(11)及外筒(12)。筒体整体上以具有高电阻导电性的陶瓷构成。在内筒的内表面(111),利用电镀、蒸镀等手段获得静电透镜(21、22、23、24)。用公共配线连接构成透镜的电极或电极片(211~213、221、231、232、241~243)中的具有共同电位的电极或电极片。这样,可使共同电位的电极或电极片与外部配线进行集中连接。
申请公布号 CN100428397C 申请公布日期 2008.10.22
申请号 CN03812860.8 申请日期 2003.06.10
申请人 株式会社东京大学TLO 发明人 奥村胜弥;三好元介
分类号 H01J37/16(2006.01);H01J37/12(2006.01);H01J37/147(2006.01);H01J37/153(2006.01) 主分类号 H01J37/16(2006.01)
代理机构 上海市华诚律师事务所 代理人 徐申民
主权项 1.一种电子光学镜筒,其特征在于,具有筒体、及配置于该筒体内表面的静电透镜,所述筒体的内表面呈电阻率范围为108~1010Ω·cm的高电阻导电性;所述筒体具有内筒及外筒,所述内筒配置于所述外筒的内部;所述静电透镜具备在所述筒体的内侧产生电场用的电极,在所述电极连接着将电压施加于该电极用的配线,所述配线配置在所述内筒与外筒之间。
地址 日本东京都