测试装置

摘要

一种测试装置，其波形成形部包括：使用于控制测试信号的第1变化点的时序的置位信号进行延迟的第1a延迟电路；使用于控制根据由第1a延迟电路被延迟的置位信号进行变化的测试信号的第2变化点时序的复位信号进行延迟的第1b延迟电路；使用于控制测试信号的第3变化点时序的置位信号进行延迟的第2a延迟电路；使用于控制根据由第2a延迟电路被延迟的置位信号进行变化的测试信号的第4变化点的时序的复位信号进行延迟的第2b延迟电路；使用于控制对驱动器的启动信号的第1变化点的时序的置位信号进行延迟的第3a延迟电路；使用于控制周期基准信号的设定周期中的，对驱动器的启动信号的第2变化点的时序的复位信号进行延迟的第3b延迟电路。

主权项

1. 一种测试装置，为一种用于对被测试元件进行测试的测试装置，包括：生成供给到前述被测试元件的测试信号的图案数据的图案生成部、使前述图案生成部产生的前述图案数据所示的前述测试信号成形的波形成形部、以及驱动器，对前述被测试元件输出前述波形成形部所成形的前述测试信号；其特征在于上述波形成形部包括：第1a延迟电路，使周期基准信号的设定的周期中的，用于控制前述测试信号的第1变化点的时序的置位信号进行延迟；第1b延迟电路，使控制由前述第1a延迟电路被延迟的前述置位信号而进行变化的前述测试信号的第2变化点的时序的复位信号进行延迟；第2a延迟电路，使前述周期基准信号的前述设定周期中的，用于控制前述测试信号的第3变化点的时序的置位信号进行延迟；第2b延迟电路，使控制由前述第2a延迟电路被延迟的前述置位信号而进行变化的前述测试信号的第4变化点的时序的复位信号进行延迟；第3a延迟电路，使前述周期基准信号的前述设定周期中的，用于控制前述驱动器的启动信号的第1变化点的时序的置位信号进行延迟；以及第3b延迟电路，使前述周期基准信号的前述设定周期中的，用于控制前述驱动器的启动信号的第2变化点的时序的复位信号进行延迟。