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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR REDUCING NOISE IN SCATTEROMETRY MEASUREMENTS
摘要
申请公布号 EP1977217(A1) 申请公布日期 2008.10.08
申请号 EP20070716833 申请日期 2007.01.19
申请人 BLUESHIFT BIOTECHNOLOGIES, INC. 发明人 CROMWELL, EVAN, F.;MILLER, STEVEN, C.;TRUJILLO, ROBERT, T.;COMITA, PAUL, B.
分类号 G01N21/00;B01L3/00 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
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