抛光布表面网纹流道加工方法

摘要

一种抛光布表面网纹流道加工方法，利用热压法首先将抛光布置于上下电极间的高频电磁场中，从而使自身产生热量，然后使抛光布表面在具有高温的凸网纹的压辊滚压下形成的网纹流道。抛光布表面网纹流道，表面网纹流道为网纹凹槽。凹槽的深度为0.4－0.6毫米。网纹为2mm×2mm的连续井字的网纹。本发明的优点是：此抛光布表面网纹流道加工方法工艺简单，可连续生产。表面网纹流道的抛光布可避免由于铣削使抛光布表面网纹流道产生碎屑及毛丝残留物或因为激光刻蚀而使表面硬化，使晶片表面的光洁度的提高。可减少抛光布与晶片之间由于摩擦而带来的划伤。可使抛光过程中所产生的废液及时流出，达到及时更换新鲜药剂的目的。

主权项

1. 一种抛光布表面网纹流道加工方法，其特征在于：利用热压法在抛光布表面压制出所需网纹流道。