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发明名称 Procédé de production d'une atmosphère extrêmement pure, et en particulier d'un vide extrêmement élevé
摘要
申请公布号 FR1530956(A) 申请公布日期 1968.06.28
申请号 FR19670113815 申请日期 1967.07.11
申请人 BALZERS PATENT- UND LIZENZ-ANSTALT 发明人 RUHE JOCHEN;FLAD DIETER;FREI HUGO
分类号 F04B37/08;H01J9/38 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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