发明名称 MID SPAN SUPPORT FOR A MAGNETIC ARRAY OF A CYLINDRICAL MAGNETRON SPUTTER DEVICE
摘要
申请公布号 EP1581963(B1) 申请公布日期 2008.10.08
申请号 EP20040700457 申请日期 2004.01.07
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 BARRETT, RICHARD, LOWE;GREENE, PHILIP, A.
分类号 H01J37/34;C23C14/32 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
地址