发明名称 | 支撑装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种顶销及支撑装置,此支撑装置包括多数个顶销,其部分顶部表面与一板形组件接触。本实用新型的顶销及支撑装置可降低顶销的顶部表面因静电作用而和板形组件产生的吸附现象,且防止将板形组件取出时有破片的情形。 | ||
申请公布号 | CN201075383Y | 申请公布日期 | 2008.06.18 |
申请号 | CN200720151646.5 | 申请日期 | 2007.06.19 |
申请人 | 中华映管股份有限公司 | 发明人 | 许民庆;谢孟儒 |
分类号 | H01L21/683(2006.01);C23C16/458(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
主权项 | 1.一种支撑装置,其用于在一腔室中支撑及放置一板形组件,其特征在于该支撑装置包括:一平台,用以放置该板形组件,且具有多数个顶销孔;以及多数个顶销,配置于该平台内的这些顶销孔中,用以支撑该板形组件,且每一这些顶销的部分顶部表面与该板形组件接触。 | ||
地址 | 台湾省台北市 |