| 发明名称 | 一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置，连接于双作用气缸的两进气端控制其运动，控制装置包括：换向阀、双向调速阀与节流阀，换向阀的进口接气源，换向阀的一个出口通过双向调速阀接双作用气缸的一个进气端，换向阀的另一个出口通过节流阀接双作用气缸的另一个进气端。另外，控制装置中还包括检测单元与自动控制单元，用于检测双作用气缸运行情况，进而控制双作用气缸的工作。通过该控制装置可以消除气缸启动时活塞杆的“急速伸出”现象，也就是消除双作用气缸的换向时的“抖动”现象。提高双作用气缸稳定性与可靠性，同时不影响双作用气缸的运行时间要求。 | ||
| 申请公布号 | CN101201074A | 申请公布日期 | 2008.06.18 |
| 申请号 | CN200610165298.7 | 申请日期 | 2006.12.15 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 王志升 |
| 分类号 | F15B21/00(2006.01);F15B13/044(2006.01);F15B15/26(2006.01);H01L21/306(2006.01) | 主分类号 | F15B21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵镇勇;郭宗胜 |
| 主权项 | 1.一种消除双作用气缸换向抖动的控制装置，连接于双作用气缸的两进气端控制其运动，其特征在于，所述的控制装置包括：换向阀、双向调速阀与节流阀，换向阀的进口接气源，换向阀的一个出口通过双向调速阀接双作用气缸的一个进气端，换向阀的另一个出口通过节流阀接双作用气缸的另一个进气端。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||