微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法

摘要

微型硅基自吸氧式燃料电池极板及其制作方法，属于微能源和微机械加工领域。为解决现有体硅腐蚀技术同膜电极接触面积过小，接触不充分等问题，本发明提出了一种微型硅基自吸氧式燃料电池极板，包括自吸氧式阴极极板和阳极极板，所述自吸氧式阴极极板与膜电极一侧的接触面积超出其与空气一侧的接触面积。为解决现有技术成本过高、无法批量生产自吸氧式燃料电池极板的问题，本发明还公开了微型硅基自吸氧式燃料电池极板的制作方法，包括生成体硅腐蚀掩蔽层的步骤，采用双面光刻技术光刻极板两面图形的步骤，在70～80℃及超声搅拌条件下，30～40wt％的KOH溶液中进行体硅腐蚀的步骤，以及溅射电流收集层的步骤。

主权项

1.微型硅基自吸氧式燃料电池极板，包括自吸氧式阴极极板和阳极极板，所述燃料电池极板利用包括体硅腐蚀和双面光刻步骤的微机械加工工艺制作，其特征在于：所述自吸氧式阴极极板与膜电极一侧的接触面积大于自吸氧式阴极极板与空气一侧的接触面积。