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发明名称
EQUIPMENT AND METHOD FOR MONITORING AN IMMERSION LITHOGRAPHY DEVICE
摘要
申请公布号
EP1931968(A1)
申请公布日期
2008.06.18
申请号
EP20060808103
申请日期
2006.09.11
申请人
SOCIETE DE PRODUCTION ET DE RECHERCHES APPLIQUEES
发明人
PIEL, JEAN-PHILIPPE;STEHLE, JEAN-LOUIS
分类号
G01N21/43;G03F7/20
主分类号
G01N21/43
代理机构
代理人
主权项
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