| 发明名称 |
Vorrichtung zur Eindiffusion von Bor und/oder Phosphor in Halbleiterscheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1280821(B) |
申请公布日期 |
1968.10.24 |
| 申请号 |
DE1965L050621 |
申请日期 |
1965.04.30 |
| 申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-G.M.B.H. |
发明人 |
BORCHERT DIPL.-PHYS. EDGAR;SCHIMMER RIGOBERT |
| 分类号 |
C30B31/00;C30B31/06;H01L21/00 |
主分类号 |
C30B31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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