以剥除法制作图案化膜层的方法

摘要

本发明公开了一种以剥除法制作图案化膜层的方法。此方法是先在基板上形成图案化堆叠层，图案化堆叠层是由牺牲层与光致抗蚀剂层所构成，其中光致抗蚀剂层覆盖并延伸突出于上述牺牲层之外。随后，在图案化堆叠层上以及图案化堆叠层之中的间隙形成一膜层，此膜层的厚度小于牺牲层的厚度。其后，以剥除法移除光致抗蚀剂层以及光致抗蚀剂层上的膜层。之后，再移除牺牲层。

主权项

1.一种以剥除法制作图案化膜层的方法，包括：提供基板；在该基板上形成图案化堆叠层，该图案化堆叠层是由牺牲层与光致抗蚀剂层所构成，且该光致抗蚀剂层覆盖并延伸突出于该牺牲层之外；在该图案化堆叠层上以及该图案化堆叠层之中的间隙形成膜层，该膜层的厚度小于该牺牲层的厚度；以剥除法移除该光致抗蚀剂层以及该光致抗蚀剂层上的该膜层；以及移除该牺牲层。