微机械光开关的闩锁及制作

摘要

本发明涉及微机械光开关的闩锁它包括：悬臂2、下层基片3、固定梳齿4、可动梳齿5、锚点6、闩7、倾斜下电极8、倾斜绝缘层9、水平下电极10及水平绝缘层11，制作步骤：首先在衬底上涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀掉闩锁图形的所在区域的水平绝缘层及水平下电极，然后将下层基片刻蚀到适当深度；再次涂胶、前烘、曝光、显影形成可动梳齿及闩胶图形；淀积电铸阴极；涂胶、前烘、曝光、显影形成闩锁图形后电铸；去胶，完成闩锁制作；与上层基片键合。本发明使光开关在“开”和“关”的瞬间动作，其它时间均处于自然状态。保证光开关只在反射与通光变换时加电压，解决了能耗高的问题。具有节省能量、位移-电压线性关系好的优点。

主权项

1.微机械光开关的闩锁，它包括：悬臂(2)、下层基片(3)、倾斜下电极(8)、倾斜绝缘层(9)、水平下电极(10)及水平绝缘层(11)，下层基片(3)的上表面含有水平面、倾斜平面以及连接水平面与倾斜平面的三个垂直平面，倾斜平面位于水平面的中央，四周为水平面，倾斜下电极(8)及倾斜绝缘层(9)位于悬臂(2)的正下方，倾斜绝缘层(9)位于倾斜下电极(8)上方并与之接触，倾斜下电极(8)位于下层基片(3)倾斜平面上方并与之接触，水平下电极(10)位于下层基片(3)水平面上方并与之接触，水平绝缘层(11)位于水平下电极(10)上方并与之接触，其特征在于还包括有：固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)、闩(7)，固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)、闩(7)位于下层基片(3)的上方，其中固定梳齿(4)、锚点(6)与下层基片(3)接触，可动梳齿(5)和闩(7)悬浮在下层基片(3)的上方并有一定间隙；固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)位于悬臂(2)的下方两侧，闩(7)的一部分位于悬臂(2)的下方两侧，闩(7)的另一部分靠近悬臂(2)的正下方；固定梳齿(4)与可动梳齿(5)交叉耦合；当悬臂(2)、倾斜下电极(8)分别加正、负电压时，悬臂(2)的一端开始向下移动，与此同时在一对固定梳齿(4)与可动梳齿(5)上分别施加正、负电压，使可动梳齿(5)带动闩(7)向固定梳齿(4)方向平行移动，直至闩(7)的悬浮端离开悬臂(2)下方从而允许悬臂(2)顺利移动；当悬臂(2)继续下移至低于闩(7)的下表面以后，去除电压使闩(7)回到初始状态，锁住悬臂(2)；当光开关需要回到自然状态时，首先在悬臂(2)与倾斜下电极(8)上加电压，使悬臂(2)向下移动以便与闩(7)离开，然后使闩锁加瞬间电压，使闩(7)再次向可动梳齿(5)方向平行移动，直至闩(7)的悬浮端离开悬臂(2)下方从而允许悬臂(2)顺利上移，同时释放悬臂(2)使之回到自然状态。