贴附基材之装置及其间隙控制单元

摘要

一种用于附接基材之装置,其包括:用于支撑第一基材之第一室,以及用于支撑第二基材之第二室。主要密封元件系设置于第一室与第二室之间,以维持腔室之间的密封与间隙。对准控制部件系位于第一室与第二室之间以维持密封,且亦允许第二室相对于第一室移动以对准基材。对准控制部件亦控制腔室之间的间隙,以维持基材之间均一的间隙。