基板防损系统及防损方法

摘要

本发明提供一种用于一电浆处理装置之基板防损系统与防损方法。该系统可包括:一下电极,其上可安装一基板;一惰性气体供给装置,其可供给惰性气体至其上安装该基板之下电极之上表面;及一空气供给装置,其可供给空气至该下电极之上表面。为在装卡期间控制该基板之温度,该下电极与该基板之间可供给一惰性气体。为使该基板易于自该下电极分离,卸载期间可在该下电极与该基板之间供给空气。