自一工件中切割出多片晶圆的方法

摘要

本发明系有关一种自一工件中切割出多片晶圆的方法,该工件具有一纵轴及一横截面,且固定于一工作台上,以垂直于在该工作台与一线锯之线排间之该工件纵轴之方向上的相对移动、且以一变化的向前进给速度(forward feed rate)通过该线排而加以给进,该线排系由以有效速率移动之锯线所形成,该锯线的有效速率系控制作为该向前进给速度及该工件横截面的函数,以达到该锯线的均匀损耗。