蚀刻液组成物

摘要

本发明系关于一种氧化铟锡透明导电膜用之蚀刻液组成物,其含有:草酸、磺酸缩合物或其盐、盐酸、硫酸、水溶性胺中之至少一种、以及水。该蚀刻液组成物不仅对于基板上无底膜状态下所形成之透明导电膜,即使对于基板上的底膜上所形成之透明导电膜,蚀刻残渣去除性能亦优异,可以抑制发泡且不会有固态物析出,因此和知品相比液体寿命长。