发明名称 Method of manufacturing a metal wiring in a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100714026(B1) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20000084734 申请日期 2000.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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