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发明名称 BRIDGE-TYPE PROBE CARD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME USING SILICON MICROMACHINING TECHNOLOGY
摘要
申请公布号 KR100595373(B1) 申请公布日期 2006.07.03
申请号 KR20020076051 申请日期 2002.12.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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