发明名称 用于处理半导体制造资料的方法及系统
摘要 一种用于处理半导体制造资料的方法。该方法首先由第一服务提供端将半导体元件批次提供给第二服务提供端以进行处理。再由该第一服务提供端从该第二服务提供端接收与该处理相关的第一资料。继之,该第一服务提供端依据该第一资料决定第二资料,并将该第二资料传送至与该第二服务提供端相关之客户端。
申请公布号 TWI256568 申请公布日期 2006.06.11
申请号 TW093128414 申请日期 2004.09.20
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 谢慧杰;杜绍祺;蔡荣翼;邱垂崇;张淑美
分类号 G06F17/60 主分类号 G06F17/60
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种用于处理半导体制造资料的方法,其包括: 第一服务提供端将半导体元件批次提供给第二服 务提供端以进行处理; 该第一服务提供端从该第二服务提供端接收与该 处理相关的第一资料;以及 该第一服务提供端依据该第一资料决定第二资料, 并将该第二资料传送至与该第二服务提供端相关 之客户端。 2.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,在将该半导体元件提供给该第二服 务提供端时,进一步由该第一服务提供端将虚拟工 令提供给该第二服务提供端。 3.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第一服务提供端及该第二服 务提供端系为分离之商业组织。 4.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第一服务提供端包含第一制 造执行系统(MES),其中该第二服务提供端包含第二 制造执行系统(MES),且该第一制造执行系统不同于 该第二制造执行系统。 5.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第一资料包含在制品资料。 6.如申请专利范围第5项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第二资料包含该半导体元件 处理时间是否超过预定时间之判断资料。 7.如申请专利范围第5项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该在制品资料系依据预定时间 间隔周期性地接收之。 8.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第一资料包含运送资料。 9.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第一资料包含批次良率资料 。 10.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第一资料之接收及该第二资 料之传送系透过网路为之。 11.如申请专利范围第10项所述之用于处理半导体 制造资料的方法,其中该网路系为全球电脑网路。 12.如申请专利范围第10项所述之用于处理半导体 制造资料的方法,其中该第一资料之接收及该第二 资料之传送系透过档案传输协定(FTP)为之。 13.如申请专利范围第10项所述之用于处理半导体 制造资料的方法,其中该第一资料之接收及该第二 资料之传送系透过超文件传输协定(HTTP)为之。 14.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该半导体元件批次系为积体电 路晶片批次。 15.如申请专利范围第1项所述之用于处理半导体制 造资料的方法,其中该第二资料包含该第一资料。 16.一种用于处理半导体制造资料的系统,其至少包 括: 与第一服务提供端资料关联之资料处理系统,其从 第二服务提供端接收与半导体元件的处理相关之 第一资料,其中该半导体元件批次系由该第一服务 提供端提供给该第二服务提供端,使得该第二服务 提供端可以进行该半导体元件的处理,该资料处理 系统依据该第一资料决定第二资料,并将该第二资 料传送至与该第二服务提供端相关之客户端。 17.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一服务提供端将该半导 体元件提供给该第二服务提供端时,进一步将虚拟 工令提供给该第二服务提供端。 18.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一服务提供端及该第二 服务提供端系为分离之商业组织。 19.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一服务提供端包含第一 制造执行系统(MES),其中该第二服务提供端包含第 二制造执行系统(MES),且该第一制造执行系统不同 于该第二制造执行系统。 20.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一资料包含在制品资料 。 21.如申请专利范围第20项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第二资料包含该半导体元 件处理时间是否超过预定时间之判断资料。 22.如申请专利范围第20项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该资料处理系统依据预定时 间间隔周期性地接收该在制品资料。 23.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一资料包含运送资料。 24.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一资料包含批次良率资 料。 25.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一资料之接收及该第二 资料之传送系透过网路为之。 26.如申请专利范围第25项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该网路系为全球电脑网路。 27.如申请专利范围第25项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一资料之接收及该第二 资料之传送系透过档案传输协定(FTP)为之。 28.如申请专利范围第25项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第一资料之接收及该第二 资料之传送系透过超文件传输协定(HTTP)为之。 29.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该半导体元件批次系为积体 电路晶片批次。 30.如申请专利范围第16项所述之用于处理半导体 制造资料的系统,其中该第二资料包含该第一资料 。 图式简单说明: 第1图显示依据本发明实施例系统的示意图。 第2图显示第1图所示系统细部结构之示意图。 第3图显示依据本发明实施例之电脑系统的示意图 。 第4图即显示上述资料传输之资料流的示意图。
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