| 发明名称 |
DISPOSITIF A SEMICONDUCTEUR POSSEDANT UN ACTIONNEUR |
| 摘要 |
<p><P>Un dispositif à semiconducteur possédant un élément dit MEMS (à savoir microsystème électromécanique) de surface selon l'invention comporte un substrat semiconducteur (11) et un actionneur (22a, 22b) qui est disposé au-dessus du substrat semiconducteur via un espace (34) et possède une électrode inférieure (19), une électrode supérieure (21) et une couche piézo-électrique (20) prise en sandwich entre l'électrode inférieure et l'électrode supérieure, la totalité de la surface de la couche piézo-électrique au moins étant sensiblement plate.</P></p> |
| 申请公布号 |
FR2877770(A1) |
申请公布日期 |
2006.05.12 |
| 申请号 |
FR20050004354 |
申请日期 |
2005.04.29 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
OHGURO TATSUYA;IKEHASHI TAMIO;MATSUO MIE;SEKINE SHUICHI |
| 分类号 |
H01L41/083;B81B3/00;G02B26/00;H01G5/16;H01H57/00;H01L21/329;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/105;H01L29/93;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/187;H01L41/193;H01L41/22;H01L41/311;H03H9/54;H04R17/00 |
主分类号 |
H01L41/083 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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