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发明名称 ULTRASONIC CLEANER AND NOZZLE FOR IT
摘要
申请公布号 KR100579613(B1) 申请公布日期 2006.05.12
申请号 KR20040104064 申请日期 2004.12.10
申请人 发明人
分类号 B08B3/12;B05B1/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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