| 发明名称 |
Verfahren zur Bestimmung des substitutionellen Kohlenstoffgehalts in poly- oder monokristallinem Silicium |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102004014984(B4) |
申请公布日期 |
2006.05.11 |
| 申请号 |
DE200410014984 |
申请日期 |
2004.03.26 |
| 申请人 |
WACKER CHEMIE AG |
发明人 |
ALT, HANS CHRISTIAN;CROESMANN, IVO |
| 分类号 |
G01N21/35;G01J3/45;G01N21/63;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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