用于质流控制器之流量测定及验证之方法与系统

摘要

本发明揭示用于质流控制器之流量核对及验证的系统及方法。可将一质流控制器控制为一特定流量，且开始流量测定。在一时间间隔期间，气体积累于一第一体积中，且在此体积内进行测定。接着可将在该时间间隔期间进行之各种测定用于计算该流动速率。该流动速率又可用于判定该质流控制器相对于一设定点之准确度。