微镜阵列装置及其制造方法

摘要

本发明之空间光调节器包含一微镜阵列，每一个微镜皆具有一反射式可偏转镜面。本发明并提供一组支柱来将该等镜面支持在一基材上，但并非该微镜阵列之所有微镜皆具有支柱。