离子束空间电荷补偿装置及具有离子束空间电荷补偿装置之离子植入系统

摘要

一种离子束空间电荷补偿装置被应用于一设置在离子束处理系统中的角能量过滤器，而离子束处理系统系藉由照射离子束于晶圆上来实施处理。此离子束空间电荷补偿装置包含一设置于该角能量过滤器之离子束导引室中的电浆莲蓬头，该电浆莲蓬头包含一具有灯丝的电弧室，而灯丝用以产生电浆用之热电子，该电弧室包含一用以提取该等热电子之提取孔，该电浆莲蓬头被设置而使得该提取孔位于该磁场之垂直于离子束前进方向的磁力线上，且该灯丝之中心轴和该提取孔之中心轴与该磁场之垂直于离子束前进方向的该等磁力线重合。