半导体制造设备

摘要

本发明提供一种半导体制造设备，包括一罩体、一半导体加工装置、一装载埠、一机械手臂或传送装置、一通气口、及一化学过滤装置以去除空气中之化学物质。可进一步具有HEPA或ULPA过滤装置以滤除颗粒。装载埠可具有标准机械介面(SMIF)，并适用SMIF晶圆盒。当半导体加工装置为钢制程机台时，更显示出本发明去除空气中化学物质以防止铜腐蚀之优点。