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<p>Eine Röntgenröhre, insbesondere Mikrofocus-Röntgenröhre (2), weist Mittel (18) zum Richten eines Elektronenstrahles (10) auf ein Target (4) auf. Es sind eine Steuerungseinrichtung (20) zur Ansteuerung der Mittel zum Richten des Elektronenstrahles (10) auf das Target (4) derart, daß der Elektronenstrahl (10) das Target (4) abtastet, eine Meßeinrichtung (22) zur Messung der Stromstärke des Targetstromes, der bei Abtastung des Targets (4) mit dem Elektronenstrahl (10) an unterschiedlichen Abtastorten fließt, oder einer hiervon abhängigen Meßgröße sowie eine Auswerteeinrichtung (24) zur Zuordnung des jeweiligen Meßwertes für den Targetstrom zu dem zugehörigen Abtastort vorgesehen. Die Röntgenröhre ermöglicht auf einfache und kostengünstige Weise ein Verfahren zur Prüfung des Targets (4) auf Funktionsfähigkeit.</p> |
