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发明名称 Method for preparation of a semiconductor device
摘要
申请公布号 EP1026752(B1) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20000201135 申请日期 1994.06.27
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 发明人 ZHANG, HONGYONG;TAKAYAMA, TORU;TAKEMURA, YASUHIKO;MIYANAGI, AKIHARU
分类号 H01L29/786;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
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