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发明名称 A NOVEL PROCESS FOR RELIABLE ULTRA-THIN OXYNITRIDE FORMATION
摘要
申请公布号 EP0928497(B1) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP19970917648 申请日期 1997.03.25
申请人 SPANSION LLC 发明人 HAO, MING-YIN;OGLE, ROBERT, B., JR.;WRISTERS, DERICK
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L21/318;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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