微影装置、元件制造方法及电脑可读取媒体

摘要

在一微影装置中，使用一照明模式执行一校正照射程序，该照明模式经配置以使得加热投影系统中靠近其一光瞳平面之一元件之选定部分，该选定部分在生产曝光期间为相对未经加热的。该校正照射程序目的在于改良该投影系统之光学元件加热之非均一性及/或减少一相位梯度。