圆板保持装置及缺陷异物检测装置

摘要

本发明的圆板保持装置具备有复数个把持用可动爪3，该复数个把持用可动爪3则是在内端侧具有抵接于具有缺口1A之晶圆1的外周部之把持部3a，朝向晶圆1的周方向配置。令位于各把持用可动爪3的内端侧之各把持部3a抵接于晶圆1的外周侧来把持晶圆1，故用由光源及受光部所组成的感测器来检测出缺口时，即使任何一个把持部3a以有缺口的部位来抵接于晶圆1的外周部，来自光源的光不会被把持部3a所遮蔽，仍可以通过缺口射入至受光部。即使以有缺口的部位来把持晶圆1的情况，仍不必经过重新把持晶圆1的动作，缩短处理步骤的时间，生产量则会提高。