藉由频谱强化施行之光学量测工具的匹配

摘要

藉由获得由第一光学量测工具所量测之第一组量测绕射信号及由第二光学量测工具所量测之第二组量测绕射信号，可将光学量测工具加以匹配。依据该第一组量测绕射信号与该第二组量测绕射信号之间的差异，产生第一光谱移位偏移量。依据利用该第一光学量测工具所量测之量测绕射信号，产生该第一光学量测工具用之第一杂讯加权函数。获得由该第一光学量测工具所量测之第一量测绕射信号。使用该第一光谱移位偏移量及该第一杂讯加权函数，而调整该第一量测绕射信号以产生第一调整绕射信号。