| 摘要 |
本发明提供一种可藉由雷射光控制液状体之配置位置并于所期望之配置位置使液状体乾燥，而形成高精细、高精密之图案的图案形成方法、图案形成装置及液状体乾燥装置。于托架20包含有：第1半导体雷射LD1，其射出对于金属油墨F吸收率较高之波长之第1照射光Le1；以及第2半导体雷射LD2，其射出对于金属油墨F吸收率较低之波长之第2照射光Le2。一面藉由第2照射光Le2对液状膜FL使其向第1照射光Le1之照射方向之相反方向移动以进行配置位置控制，一面使第1照射光Le1射入之液状膜FL之部分(照射位置P1)平坦化。当藉由第1照射光Le1而乾燥液状膜FL时，可形成并无乾燥不足且高精细、高精密之层图案FP。 |
