离子布植机之改良

摘要

本发明系有关于离子布植机内之部件，该部件之表面与通过该离子布植机的离子束之路径相邻。此类表面易于沉积，而本发明系针对与沉积材料的分层相关的问题。本发明系提供一离子布植机部件，其具有界定通过该离子布植机的离子束路径之至少一部分的表面，其中至少一部分的表面系经粗糙化。该部分表面可经粗糙化以提供至少部分由该表面之相邻部位的定向之急遽改变所界定的表面特征结构。