电浆处理装置用的矽垫的制造方法

摘要

本发明是有关电浆处理装置用的矽制品的制造方法。本发明提供了一种矽制品的制造方法，其中包括：提供矽锭；将矽锭取芯形成空心矽圆柱体和直径小于矽锭的矽芯圆柱体；将空心矽圆柱体切割形成具有中心开孔的矽环板和将矽芯圆柱体切割形成矽电极板；以及将矽环板加工形成矽圈和将矽电极板加工形成矽电极。根据本发明，将矽锭切片之前，藉由对圆柱形矽锭取芯而形成空心矽圆柱体和矽芯圆柱体。空心矽圆柱体和矽芯圆柱体用于制造矽制品，如矽圈和矽电极，以降低矽制品的生产成本。