用于薄膜电晶体液晶显示装置之蚀刻液组成物

摘要

本发明系提供一种优良的蚀刻液，可保障高度稳定性及制程范围，而对于含铜金属层形成均等之锥形蚀刻。本发明之解决方法系有关将液晶显示装置之回路模式上所使用的铜配线蚀刻之蚀刻液组成物。本发明之蚀刻组成物含有过硫酸铵及　咯系化合物。本发明之蚀刻组成物由于不含过氧化氢，故可确保稳定性及制程范围而获得优良之锥形轮廓。