发明名称 偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法
摘要 一种偏光变换元件,可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光,变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光,且可以防止光量损失。偏光变换元件10变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成,在周方向有厚度变化的分布。厚度分布,被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光,变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域10A~10D,且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又,这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
申请公布号 TW200845131 申请公布日期 2008.11.16
申请号 TW097117881 申请日期 2005.01.12
申请人 尼康股份有限公司 发明人 谷津修;重松幸二;广田弘之;松山知行
分类号 H01L21/027(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 H01L21/027(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 日本