摘要 |
〔课题〕提供即使在湿热下长时间使用时,TFT动作安定,且可以简便地制造之主动矩阵式基板及其制造方法。〔解决手段〕一种主动矩阵式基板系于基板上形成包含薄膜电晶体之导体电路者,其系于形成导体电路之基材表面上,依序层积:由矽烷偶合剂所构成之密着剂层,及具有质子性极性基之环状烯烃系聚合物之架桥体所构成之有机保护膜。本发明之主动矩阵式基板之制造方法,(1)于形成导体电路之基材表面上形成由矽烷偶合剂所构成之密着剂层之步骤;(2)于步骤(1)所形成之密着剂层上,形成由感放射线性树脂组合物所构成之树脂膜之步骤,该感放射线性树脂组合物包含具有质子性极性基之环状烯烃系聚合物;及(3)将步骤(2)所形成之树脂膜架桥形成有机保护膜之步骤架桥形成有机保护膜之步骤。 |