| 发明名称 | 等离子体处理设备及其射频匹配网络 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种射频匹配网络，包括射频输出端口以及至少两个射频输入端口，所述射频输入端口与射频输出端口之间的匹配电路包括由第一恒值电感和第一恒值电容串接而成的匹配电路，该匹配电路的一端设有接地的第二恒值电容；所述射频匹配网络进一步包括第一支路；所述第一支路包括相串联的第一恒值附加电容和第一开关，且与所述第一恒值电容、第二恒值电容中任意一者相并联。本发明还公开了一种包括上述射频匹配网络的等离子体处理设备。由于各元件均为恒值元件，射频匹配网络的体积较小、成本较低且匹配速度较快。同时，通过第一开关即可以显著改变射频匹配网络的阻抗，负载阻抗发生较大改变时等离子体处理设备仍然能够顺利实现阻抗匹配。 | ||
| 申请公布号 | CN101325837A | 申请公布日期 | 2008.12.17 |
| 申请号 | CN200810115365.3 | 申请日期 | 2008.06.20 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 南建辉;宋巧丽 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01J37/32(2006.01) | 主分类号 | H05H1/46(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 魏晓波;逯长明 |
| 主权项 | 1、一种射频匹配网络，用于等离子体处理设备，包括至少两个与不同频率的射频电源相连接的射频输入端口，以及向所述等离子体处理设备的反应腔室输出射频的射频输出端口，所述射频输入端口与射频输出端口之间连接匹配电路；所述匹配电路包括至少一个由第一恒值电感和第一恒值电容串接而成的匹配支路，该匹配支路的至少一端设有接地的第二恒值电容；其特征在于，进一步包括第一支路；所述第一支路包括相串联的第一恒值附加电容和第一开关，且与所述第一恒值电容、第二恒值电容中任意一者相并联。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||