| 摘要 |
一种分轴级台结构系被实施成多级式定位系统(10)，其能够在高速与加速度下以振动方式且热稳定地运送材质。分轴设计能够解耦沿着两条位于分开、平行平面中的垂直轴线的级台运动。具有花岗石、石板、陶瓷材料或铸铁材料板片之尺寸稳定的基材(12)系被用作为下方级台与上方级台的底座。刚性支撑结构允许可轴向调整的光学元件能更加快速且精确地定位于雷射加工系统中。当光学组件(30)被覆盖于一个安装于多级式定位系统的样本级台(26)上方之支架结构(236、240)的坚硬空气轴承套筒(214)内时，可增进振动与热稳定性。 |
