发明名称 产生结构之方法
摘要 根据实施例之一个面相,一种用于制造由光反应性树脂所组成之一结构之方法包含下列步骤:于一可溶于水之片状构件上形成该光反应性树脂;将该光反应性树脂选择性暴露于活化该光反应性之辐射来产生该结构;以及于该曝光步骤后将该片状构件溶解于水。
申请公布号 TW200848923 申请公布日期 2008.12.16
申请号 TW097105604 申请日期 2008.02.18
申请人 富士通股份有限公司 发明人 松下直久;饭田进
分类号 G03F7/00(2006.01);G03F7/04(2006.01) 主分类号 G03F7/00(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本