摘要 |
提供以小型的直动轴提升搬运轨迹精度的机器人。一种搬运机器人(90),是对于最前端的旋臂(37)直线状地驱动末端操作装置(94)的直动机构部(93),驱动旋臂部(92)与直动机构部(93)而将基板(95)搬运至所期望的位置的搬运机器人(90),其特征为:直动机构(93)是由:被装载于最前端的旋臂(37)的第1及第2滑轮(34)、(37),及被卷装于第1及第2滑轮(34)、(37)的皮带(36),及被设置于皮带(36)近旁的导向导件(39),及被连结于导向导件(39)与皮带(36),而且装载末端操作装置(94)的末端操作装置装载部(40)所构成,将旋转第1或第2滑轮(34)、(37)的直动机构驱动用电动机(5)设于本体部(91)所构成。 |