具有固定式驱动装置之整合高架式传送系统

摘要

本文提供一种用来将一物件自一输送段移动至一位置之传送系统。该输送段使用一对传送带传送该物件。一升降装置在该对传送带之间向下放低该物品。一起重机在自上方支撑该物件之同时将该输送段下方之该物件平移至该位置。该物件可包括一FOUP、半导体晶圆、用于制造显示器装置或光电装置之基板。该起重机可包含一托架及一经组态以在悬挂于该托架下方时抓握并垂直移动该物件之握爪。