| 发明名称 |
ION IMPLANTATION METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08298247(A) |
申请公布日期 |
1996.11.12 |
| 申请号 |
JP19950101924 |
申请日期 |
1995.04.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UMEMURA KAORU;KAWANAMI YOSHIMI;KATO MASATAKA;MADOKORO YUICHI;KURODA KATSUHIRO;HAYATA YASUNARI |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):H01L21/266 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
