图案形成方法及用于它之感光性树脂组成物

摘要

提供一种可改良涂布性及所形成之图案形状的感光性树脂组成物，与使用它的图案形成方法。一种感光性树脂组成物，其特征为包含硷可溶性树脂、感光剂、及混合溶剂所构成，其中前述混合溶剂为包含丙二醇单甲基醚乙酸酯与在2O℃下蒸气压为150Pa以下的共溶剂所构成者，以及包含使用它并藉由狭缝涂布法涂布的图案形成方法。