Integrierter kapazitiver Sensor

摘要

Eine integrierte kapazitive Sensorschaltung mit einem in einer obersten Metallisierungsschicht der integrierten kapazitiven Sensorschaltung gebildeten kapazitiven Sensor mit wenigstens zwei in der obersten Metallisierungsschicht angeordneten Elektroden und einer mit dem kapazitiven Sensor gekoppelten elektronischen Auswerteschaltung zum Feststellen einer Kapazitätsänderung des kapazitiven Sensors, wobei der kapazitive Sensor und die Auswerteschaltung gemeinsam auf einem Halbleitersubstrat integriert sind.