无线压力传感器及其形成方法

摘要

一种压力传感器系统，包含集成在基底中的压力传感电容器和电感器。所述压力传感电容器包含用于检测压力差的导电隔膜和通过形成在基底中的预定间隙与隔膜分离开的电极。所述电感器和压力传感电容器形成无源电感性－电容性(LC)振荡电路。以感应方式耦合到所述压力传感器电感器线圈的远程询问电路可以用于无线检测LC振荡电路的谐振频率的变化。使用逐层加工技术制造所述整体集成的压力传感器结构。

主权项

1.一种压力传感器系统，包括：压力传感电容器，其包括：基底或外壳隔膜，其形成在所述基底上或者容纳在所述基底中，用于检测压力差，所述隔膜包括导电材料，以及电极，其形成在所述基底上或者所述基底中，所述电极通过形成在所述基底中的预定间隙与所述隔膜分开，以及电感器，其形成在所述基底上或者所述基底中，所述电感器和所述压力传感电容器形成LC振荡电路，由此当施加电磁信号到压力传感器时，所述LC振荡电路的谐振频率的变化能够被检测以确定施加到所述隔膜的压力差的变化。