在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法

摘要

本发明公开了一种在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法。具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用压电致动器伺服控制微金刚石刀具的进给运动，具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用微小力传感器检测金刚石刀具尖端与工件表面的接触力和切削力，当切削刀具与工件接触时，压电致动器开始振荡，微小力传感器输出稳定信号，使用PID控制器对微小力传感器输出的信号和输入的切削深度参数进行运算，将运算结果输出到压电致动器控制切削刀具对工件表面进行加工，实现了在回转件的表面快速加工出大面积三维微纳结构。本发明避免了传统的微镜头阵列等三维微纳结构加工方法的小面积和耗时长的缺点，具有高精度、快速、大面积的优点。

主权项

1、一种在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法，其特征在于：具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用压电致动器伺服控制微金刚石刀具的进给运动，具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用微小力传感器检测金刚石刀具尖端与工件表面的接触力和切削力，当切削刀具与工件接触时，压电致动器开始振荡，此时微小力传感器输出稳定信号，使用PID控制器对微小力传感器输出的信号和输入的切削深度参数进行运算，将运算结果输出到压电致动器控制切削刀具对工件表面进行加工，从而实现在回转件的表面快速加工出大面积三维微纳结构。