| 发明名称 | 测试被测体的电气特性的测试方法及测试装置 | ||
| 摘要 | 本发明使形成在载物台(11)的承载面(11C)上的至少一对第三电极对(17)与形成在被测体的第一表面(31)上的导电层(Q)相接触，从而在两者之间利用熔融现象形成电路。 | ||
| 申请公布号 | CN100442068C | 申请公布日期 | 2008.12.10 |
| 申请号 | CN200480016119.2 | 申请日期 | 2004.06.08 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社;须贺唯知;伊藤寿浩 | 发明人 | 须贺唯知;伊藤寿浩;小松茂和;片冈宪一 |
| 分类号 | G01R31/26(2006.01) | 主分类号 | G01R31/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王怡 |
| 主权项 | 1.一种测试包括下述结构的被测体(W’)的电气特性的测试方法，该测试方法包括下述步骤：(a)在载物台(11)的承载面(11C)上放置被测体，在这里，所述载物台的承载面具有至少一对第三电极对(17)，第三电极对具有第一电极和第二电极，被测体具有第一表面(31)和第二表面(32)，第一表面具有至少一层导电层(Q)，并且，将被测体放置在载物台的承载面上，使得所述导电层接触到所述第三电极对；(b)向所述载物台上的至少一对第三电极对之间施加电压来产生熔融现象，利用所述熔融现象在所述第三电极对与所述导电层之间形成电路。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||